Ведомости материалов (ВМ) —документы, содержащие данные о применяемых хматериалах, заготовках материалов, нормах расхода материалов, эскизы рекомендуемого раскроя. Ё них приводятся также формулы, по которым рассчитываются нормы расхода материалов.
Технологические инструкции (ТИ) являются документами, дополняющими операционные карты. Их разрабатывают для наиболее ответственных операций, определяющих качество приборов или требующих дополнительных разъяснений. В технологических инструкциях даются общие указания по осуществлению технологических процессов и операций, объяснения происходящих физических и химических явлений, правила пользования технологическим оснащением и обращения с материалами.
Ведомость операций (ВОП) или маршрутно-конт-рольная карта (МКК) — документ, содержащий перечень и описание всех операций технического контроля, выполняемых при изготовлении конкретного прибора, его составных частей или при получении материалов, с указанием средств и методов контроля и требований к контролируемым параметрам. Ведомость операций дополняется контрольными картами (КК), в которых подробно излагаются методики контроля с описанием применяемых средств. Контрольная карта является основным документом для контроля на производственном участке или рабочем месте.

ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ГИГИЕНА ПРОИЗВОДСТВА
3-1. УСЛОВИЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
При производстве полупроводниковых приборов предъявляются крайне жесткие требования к чистоте Рвхнологическцх процессов, обусловленные чрезвычайно большой зависимостью параметров создаваемых изделий ОТ физико-химической структуры основной их детали — кристалла.
Чтобы получать кристаллы с заданными свойствами, полупроводниковые материалы, из которых их изготав-1ИВПЮТ, легируют строго контролируемым количеством определенных элементов. Содержание легирующих при-ш ей в основном полупроводниковом материале очень Ш№