Исходными продуктами для образования технологических сред являются газы, выпускаемые промышленностью. Их загрязненность регламентируется государственными стандартами. К чистоте газов, поступающих в технологическое оборудование на основных операциях изготовления полупроводниковых приборов, предъявляются гораздо более жесткие требования (табл. 3-5). Особенно важно выполнять эти требования при диффузии, сплавлении, эпитаксиальном наращивании, термическом окислении и других процессах, связанных с реакциями в газовой среде. Предельная загрязненность газовых сред на прочих операциях (фотолитография, термокомпрессия, отжиг, пайка, герметизация, создание металлостеклянных спаев и др.) определяется в зависимости от технологических требований, причем во всех случаях газообразные примеси допускаются в количествах, гораздо меньших, чем в исходных газах.
Поэтому все газы, применяемые для изготовления полупроводниковых приборов, подлежат дополнительной очистке. Исключением является азот, используемый для продувки технологического оборудования.
Очистка газов — важный вспомогательный процесс в производстве полупроводниковых приборов. В результате очистки из газов должны быть удалены нежелательные- газовые примеси (главным образом — кислород), влага, пары и капли масел. Так же как и кондиционированный воздух, их тщательно обеспыливают: запыленность газовых сред не должна превышать 2—3 пылинок размером 0,7 мкм в 1 дм3.
Чистоту и состояние газов строго контролируют. Непосредственно в рабочих камерах технологического оборудования контролируются газовый состав, влажность, запыленность, температура среды, а также расход и давление применяемого газа. Требования к этим параметрам должны обязательно излагаться в технической документации на проведение каждой конкретной операции.
Вода широко используется в производстве полупроводниковых приборов. Основные области ее применения — удаление с поверхности деталей нежировых загрязнений и приготовление растворов. Вода применяется также для мойки технологического оснащения и тары, для охлаждения и в других целях.