|
Химическая чистота поставляемого материала указа-па в табл 4-5 Бор В. Встречается в двух разновидностях: кристаллический с плотностью 3,33 г/см3 и аморфный с плотностью 2,3 г/см3. Температура плавления 2300°С. В полупроводниковом производстве используется аморфная разновидность бора — порошок темно-бурого цвета. Концентрированные серная и азотная кислоты окисляют его в борную кислоту. С водой, кислородом и азотом реагирует при 700°С и выше. Применяется в соединениях в виде борного ангидрида или бромида как источник диффузии в кремний. Растворимость в германии 1019 ем-3, в кремнии 1020 см-3. Борный ангидрид (В203) особой чистоты. Порошок белого цвета. Температура плавления 577°С, температура кипения 1800°С, плотность 1,85 г/см3. Допускается содержание примесей Mg, Fe, Al, Си, Mn, Pb, P, As, Ti, Ag. Суммарное содержание примесей 10~3%. Трехбромиетый бор (ВВгз) особой чистоты. Бесцветная прозрачная жидкость. Токсичен и при попадании влаги взрывоопасен. Температура кипения 90,8°С, плотность 2,65 г/см3. Допускается содержание примесей Fe, Al, Mg, Си, Pb, Mn, Ni, Ti, Sb. Суммарное содержание примесей 10~3%. Максимальное содержание iP и As менее 3-10~5%. Применяется как источник бора при диффузии. Галлий Ga. Серебристо-белый мягкий металл. Температура плавления 29,78°С, плотность 5,92 г/см3. На воздухе довольно устойчив, легко растворяется в кислотах и щелочах. Максимальная растворимость в германии 3-1020 ем-3. Применяется только в сплавах из-за низкой температуры плавления. Содержание примесей 1-10-4%. Поставляется в виде слитков 10±2; 30±5; 50±б г. Хранится при температуре не выше 25°С.
|