|
При резке кремния в связи с большой его твердостью и хрупкостью |
|
При резке кремния в связи с большой его твердостью и хрупкостью по сравнению с германием скорость резания примерно в 2 ра-раза ниже скорости резания германия. Например, резание слитков кремния диаметром 30—40 мм продолжается от 4 до 8 ч, а слитков германия — от 2 до 5 ч. Станки абразивной резки полотнами хотя и имеют меньшую производительность по сравнению со станками с алмазными дисками, но обладают рядом преимуществ по сравнению с ними. Так, например, отходы при резке на станках с полотнами слитков больших, диаметров за счет малой ширины реза меньше на 10—15%. Увеличения производительности добиваются за счет применения полотен с алмазной режущей кромкой, так называемых штрипсов (полосок). Основу штрипсов составляют пермаллоевые ленты. Лента может иметь толщину от 0,05 до 0,1 мм. Алмазоносный режущий слой шириной 1,5—2 мм наносится на кромку ленты гальваническим способом. Для формирования алмазной режущей кромки используют алмазные порошки различной зернистости, например, при резке слитков на пластины зернистость составляет 40—50 мкм, а при резке пластин на кристаллы—14—28 мкм. Однако следует отметить, что качество пластин, отрезаемых с помощью штрипсов, уступает качеству пластин, отрезаемых с применением абразивных суспензий. 5-6. РЕЗАНИЕ ПРИ ПОМОЩИ ВОЗВРАТНО-ПОСТУПАТЕЛЬНОГО ДВИЖЕНИЯ ПРОВОЛОКИ В случаях небольшой глубины реза широко применяют станки абразивной резки с возвратно-поступательным движением проволоки. Кинематическая схема такого станка приведена на рис. 5-12. Проволока с подающей катушки через перемоточные барабаны, расположенные над рабочим столиком с закрепленным на нем слит- При помощи роликов проволоке придается возвратно-поступательное движение, а также поступательное движение в сторону приемной катушки.
|