Двухзонный метод диффузии позволяет достаточно эффективно управлять процессом. Однако применение твердого источника примеси вызывает ряд трудностей. Большинство твердых источников обладают гетерирую-щими свойствами: они легко впитывают влагу из воздуха, соприкосновения с которым не удается избежать. Выделяющиеся при нагреве пары воды заметно снижают давление примесных паров, что приводит к более низким и нестабильным концентрациям диффузанта у поверхности пластин и ухудшает воспроизводимость.
Кроме того, на качество процесса вредно влияют неравномерность распределения примесных паров в газе-носителе по поперечному сечению трубы, усиленное их взаимодействие с поверхностью трубы и конденсация на участке между зонами, разбрызгивание источника в зоне нагрева, быстрое его истощение.
В связи с этим все больше используются жидкие источники диффузантов. Для испарения жидкости не требуется высоких температур, надобность в зоне нагрева источника отпадает. Процесс ведется с нагревом лишь обрабатываемых пластин — в однозонных печах. Источник заливается в герметичную емкость, размещаемую вне кварцевой трубы, а его пары вносятся в рабочий объем газом, проходящим через эту емкость (рис. 746). Помимо жидких применяются и газообразные источники. В этих случаях процесс еще более упрощается: газ-источник вводится в трубу прямо из баллона.