Контролер, делающий проверки, их результаты отмечает на карте точками и сопоставляет с контрольными границами. Если все точки находятся в пределах статистического допуска, то вся партия пластин признается годной. Выход точек за границы статистического допуска свидетельствует об ухудшении качества обработки. С увеличением интенсивности такого выхода контролер должен предупредить мастера о возможном появлении брака и необходимости произвести подналадку оборудования и отрегулировать технологический процесс. Кроме того, надо провести повторную выборочную проверку. Если же хотя бы одна точка окажется за пределами технического допуска, т. е. появляется брак, контролер должен потребовать от мастера немедленного устранения неполадок, а всю партию пластин, обработанных с момента предыдущего выборочного контроля, подвергнуть сплошному контролю:
Объем выборки определяют расчетом или по таблицам в зависимости от объема партии.
КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ И СОРТИРОВКА ПРИБОРОВ ПО КЛАССИФИКАЦИОННЫМ ГРУППАМ, МАРКИРОВАНИЕ
Весь производственный процесс изготовления любого полупроводникового прибора ставит своей целью выпуск продукции с определенными заранее заданными параметрами: Обеспечение этой задачи — непременное условие всего комплекса выполняемых технологических, контрольных и вспомогательных операций. Поэтому на всех этапах изготовления полупроводниковых приборов приобретает первостепенное значение проверка электрических параметров или тех свойств обрабатываемых материалов, от которых эти параметры зависят. Последовательности выполнения таких проверок составляют системы классификации, которые гарантируют присвоение выпускаемым приборам определенных типов и групп в соответствии с требованиями стандартов.
Принимаемые в производстве классификационные схемы зависят от конкретного типа прибора и его особенностей. Во всех случаях они включают предварительный, промежуточный и окончательный контроль.